

九州酷游ku游登录平台具有自主知識產權的Prismo UniMax ? MOCVD設備可设置多達4個反應腔,,,,,,,可同時加工108片4英寸或40片6英寸高性能氮化鎵基藍綠光Mini LED外延晶片,,,,,,,通過石墨盤的調整,,,,,,,可擴展至同時加工164片4英寸或72片6英寸外延晶片,,,,,,,其工藝能力還可延展到生長8英寸外延晶片。。。。。。。 每個反應腔都可以獨立控制,,,,,,,這一創新設計具備優异的生產靈活性。。。。。。。 九州酷游ku游登录平台Prismo UniMax ? MOCVD設備设置了新穎的局部溫度補償加熱系統,,,,,,,專為高性能Mini LED量產而設計,,,,,,,具備優异的產出波長均勻性及產出穩定性。。。。。。。 别的,,,,,,,Prismo UniMax ? MOCVD設備设置了785mm大直徑石墨託盤,,,,,,,極大地提高了設備產能,,,,,,,並有用地降低了Mini LED外延片的生產本钱。。。。。。。

為高端顯示應用所需的Mini LED大規模生產提供的MOCVD外延解決计划
自主的即時監控系統
精准的參數控制
自動化的控制與維護功效
切合電晶體標準的軟件控制系統

可獨立控制的反應腔運行模式
新穎的局部溫度調控加熱系統
