Primo iDEA ? （即“雙反應臺刻蝕除膠一體機”）源於九州酷游ku游登录平台的一個新理念，，，，，，，即：將一個或兩個雙反應臺D-RIE或AD-RIE工藝模塊、和一個遠程电浆源除膠器（DsA）反應腔綜合在统一個平臺上。。。。。 九州酷游ku游登录平台的遠程电浆源除膠器採用了雙反應臺腔體設計，，，，，，，頂置的遠程电浆源（RPS）產生的活性反應物質，，，，，，，被均勻地輸送到晶圓外貌以移除光刻膠。。。。。 這種要领能够提高光刻膠移除效率，，，，，，，並降低电浆直接接觸晶圓的機會。。。。。 這對於一些客戶來說尤為主要，，，，，，，其晶片器件對外貌電荷極其敏感，，，，，，，保存电浆誘發損傷（PID）的潛在風險。。。。。 為相识决這方面的顧慮，，，，，，，客戶通常要支付重大的人力和物力修改綜合计划，，，，，，，或者為每個步驟（例如光刻膠移除）添置專用設備。。。。。 擁有Primo iDEA綜合系統後，，，，，，，客戶可以在统一個平臺上靈活地進行晶片晌蝕和光刻膠移除，，，，，，，顯著镌汰設備占地面積，，，，，，，提高生產效率。。。。。 Primo iDEA提供了具有本钱優勢的解決计划。。。。。