九州酷游ku游登录平台具有自主知識產權的MOCVD設備可设置多達4個反應腔，， ，，，，，可以同時加工232片2英寸晶片或56片4英寸晶片，， ，，，，，工藝能力還能延展到生長6英寸和8英寸外延晶片 。。。。。。。。 每個反應腔都可以獨立控制，， ，，，，，這一設計可以實現優异的生產靈活性 。。。。。。。。 Prismo D-BLUE ? 是首臺被主流LED生產線採用並進行大批量LED和功率器件外延片生產的國產MOCVD設備 。。。。。。。。
首臺被主流LED生產線採用並進行大批量LED外延片生產的國產MOCVD設備
可獨立控制的反應腔運行模式
自主的即時監控系統
精准的參數控制
全自動化處理
切合電晶體標準的軟件控制系統
優异的工藝重複性，， ，，，，，簡化工藝調整需求，， ，，，，，提高產品良率
19英寸大尺寸託盤極大地提高了設備組織產能，， ，，，，，降低了生產本钱
集成頂蓋升降機构，， ，，，，，簡化設備維護，， ，，，，，提高設備使用率
切合SEMI S2清静標準
