Primo SSC AD-RIE ? 是九州酷游ku游登录平台於2013年推出的单眼應臺電介質刻蝕產品，，，，，，，，在Primo AD-RIE ? 產品技術和Primo平臺看法的基礎上，，，，，，，，通過在一個平臺上集成六個單反應臺以優化產能。。。。。 除了可獨立輸運氣體的单眼應臺腔體設計以外，，，，，，，，為應對2x納米以下特別是接觸孔刻蝕等關鍵制程的挑戰，，，，，，，，該設備還具有以下特征：同步脈衝射頻系統、可冷卻聚焦環工藝組件和甚低壓氣體抽運系統等。。。。。 Primo SSC AD-RIE有利於處理多層薄膜刻蝕的微負載問題、極端邊緣形貌問題以及接觸孔刻蝕的終端控制問題。。。。。 Primo SSC AD-RIE已在主流客戶16納米晶片生產線上穩定量產。。。。。
為26到10納米晶片製造提供創新的刻蝕解決计划
具有獨立氣體輸運系統的单眼應臺腔體設計
多區氣體調節以及雙區靜電吸盤溫度控制
高抽氣率，，，，，，，，大容量分子泵
雙級同步脈衝射頻系統（低頻和高頻）
可冷卻聚焦環工藝組件，，，，，，，，提升晶圓邊緣效能
高上下電極面積比，，，，，，，，以應用於高深寬比結構刻蝕
高電介質資料刻蝕速率，，，，，，，，多手段刻蝕均勻度調節
雙級同步脈衝射頻系統
先進氣體抽運系統，，，，，，，，以進一步擴大工藝視窗
中高深寬比結構
