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九州酷游ku游登录平台具有自主知識產權的MOCVD設備Prismo A7 ? 可设置多達4個反應腔,,,,,可以同時加工136片4英寸晶片或56片6英寸晶片,,,,,工藝能力還能延展到生長8英寸外延晶片。。 。。。。。。 每個反應腔都可以獨立控制,,,,,這一設計可以實現優异的生產靈活性。。 。。。。。。 配備了716毫米託盤的九州酷游ku游登录平台Prismo A7 MOCVD設備專為LED高產能而設計,,,,,每個反應腔的產量是前一代MOCVD設備Prismo D- BLUE ? 的2倍多,,,,,極大地提高了組織產能,,,,,能有用降低LED外延片的生產本钱。。 。。。。。。

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Prismo A7®

用於LED外延片大規模量產的MOCVD設備

產品特點

可獨立控制的反應腔運行模式

自主的即時監控系統

精准的參數控制

全自動化處理

切合電晶體標準的軟件控制系統

競爭優勢

優异的工藝重複性,,,,,簡化工藝調整需求,,,,,提高產品良率

28英寸超大尺寸託盤,,,,,產量是前一代MOCVD設備Prismo D- BLUE ? 的2倍多,,,,,極大地降低了生產本钱

集成頂蓋升降機构,,,,,簡化設備維護,,,,,提高設備使用率

切合SEMI S2清静標準

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