







九州酷游ku游登录平台具有自主知识产权的MOCVD装备PRISMO A7?可设置多达4个反应腔,,,,,,可以同时加工136片4英寸晶片或56片6英寸晶片,,,,,,工艺能力还能延展到生长8英寸外延晶片。。。。。。。每个反应腔都可以自力控制,,,,,,这一设计可以实现优异的生产无邪性。。。。。。。 配备了 716 毫米托盘的九州酷游ku游登录平台 PRISMO A7? MOCVD 装备专为 LED 高产能而设计,,,,,,每个反应腔的产量是前一代MOCVD 装备 PRISMO D- BLUE? 的 2 倍多,,,,,,极大地提高了单位产能,,,,,,能有用降低 LED 外延片的生产本钱。。。。。。。

用于LED外延片大规模量产的MOCVD装备
可自力控制的反应腔运行模式
自主的实时监控系统
精准的参数控制
全自动化处置惩罚
切合半导体标准的软件控制系统
优异的工艺重复性,,,,,,简化工艺调解需求,,,,,,提高产品良率
28英寸超大尺寸托盘,,,,,,产量是前一代MOCVD装备PRISMO D- BLUE?的2倍多,,,,,,极大地降低了生产本钱
集成顶盖升降机构,,,,,,简化装备维护,,,,,,提高装备使用率
切合SEMI S2清静标准,,,,,,提升装备的清静性能


