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九州酷游ku游登录平台具有自主知识产权的MOCVD装备PRISMO A7?可设置多达4个反应腔,,, ,, ,可以同时加工136片4英寸晶片或56片6英寸晶片,,, ,, ,工艺能力还能延展到生长8英寸外延晶片。。。。。。。每个反应腔都可以自力控制,,, ,, ,这一设计可以实现优异的生产无邪性。。。。。。。 配备了 716 毫米托盘的九州酷游ku游登录平台 PRISMO A7? MOCVD 装备专为 LED 高产能而设计,,, ,, ,每个反应腔的产量是前一代MOCVD 装备 PRISMO D- BLUE? 的 2 倍多,,, ,, ,极大地提高了单位产能,,, ,, ,能有用降低 LED 外延片的生产本钱。。。。。。。

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PRISMO A7®

用于LED外延片大规模量产的MOCVD装备

产品特点

可自力控制的反应腔运行模式

自主的实时监控系统

精准的参数控制

全自动化处置惩罚

切合半导体标准的软件控制系统

竞争优势

优异的工艺重复性,,, ,, ,简化工艺调解需求,,, ,, ,提高产品良率

28英寸超大尺寸托盘,,, ,, ,产量是前一代MOCVD装备PRISMO D- BLUE?的2倍多,,, ,, ,极大地降低了生产本钱

集成顶盖升降机构,,, ,, ,简化装备维护,,, ,, ,提高装备使用率

切合SEMI S2清静标准,,, ,, ,提升装备的清静性能

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