作为九州酷游ku游登录平台公司自主研发的产出效率高且性能优异的12英寸CVD金属钨装备，，，，，，Preforma Uniflex?CW可无邪设置多达五个双反应台的反应腔，，，，，，每个反应腔皆能同时加工两片晶圆，，，，，，在包管较低的生产本钱和化学品消耗的同时，，，，，，实现较高的生产效率。。。。。。Preforma Uniflex?CW配备了完全拥有自主知识产权的优化混气计划,自主设计优化的分气抽气系统和真空卡盘，，，，，，具有优异的薄膜均一性、填充能力和工艺调理无邪性，，，，，，关于弯曲度较大的晶圆，，，，，，它也具备优异的工艺处置惩罚能力。。。。。。并且其优异的蹊径笼罩率和填充能力，，，，，，可以知足先进逻辑器件、DRAM和3D NAND中接触孔以及金属钨线的填充应用需求。。。。。。