本装备用于处置惩罚半导体光伏面板等行业生产制程中都会爆发的大宗易燃剧毒有害气体，，，，，，废气通过真空管进入装备后在反应腔内被剖析成无害因素，，，，，，经由水淋和颗粒捕获后能抵达清静的排放标准。。。 。 。。
本装备通过等离子爆发器团结氮气爆发等离子火焰，，，，，，该火焰能量集中，，，，，，适合剖析易燃易爆剧毒及温室气体。。。 。 。。装备设计有专用的粉尘冲洗式反应腔，，，，，，有用避免腔体腐败和梗塞。。。 。 。。
Plasma Scrubber等离子式废气处置惩罚装备
装备占地面积小、便于装置
不需要燃气等化石燃料（仅用氮气），，，，，，减碳节能
SiH4、H2、PH3 CF4 SF6 等泛光伏半导体特气处置惩罚效率高
开关机速率快，，，，，，不需要长时间期待加热和散热
清静性能好，，，，，，无邪互备
自研发稳固便于维护的火炬，，，，，，缩短装置时间
反应腔接纳粉尘冲洗设计
入口管接纳新型防堵计划，，，，，，PM周期长
可凭证客户需求，，，，，，提供定制化服务
