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九州酷游ku游登录平台具有自主知识产权的PRISMO UniMax? MOCVD装备可设置多达4个反应腔,可同时加工108片4英寸或40片6英寸高性能氮化镓基蓝绿光Mini LED外延晶片,,,,, ,,,通过石墨盘的调解,,,,, ,,,可扩展至同时加工164片4英寸或72片6英寸外延晶片,,,,, ,,,其工艺能力还可延展到生长8英寸外延晶片。 。。。。。。。每个反应腔都可以自力控制,,,,, ,,,这一立异设计具备优异的生产无邪性。 。。。。。。。九州酷游ku游登录平台PRISMO UniMax? MOCVD装备设置了新颖的局部温度赔偿加热系统,,,,, ,,,专为高性能Mini LED量产而设计,,,,, ,,,具备优异的产出波长匀称性及产出稳固性。 。。。。。。。别的,,,,, ,,,PRISMO UniMax? MOCVD装备设置了785mm大直径石墨托盘,,,,, ,,,极大地提高了装备产能,,,,, ,,,并有用地降低了Mini LED外延片的生产本钱。 。。。。。。。

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PRISMO UniMax®

为高端显示应用所需的Mini LED大规模生产提供的MOCVD外延解决计划

产品特点

自主的实时监控系统

精准的参数控制

自动化的控制与维护功效

切合半导体标准的软件控制系统

竞争优势

可自力控制的反应腔运行模式

新颖的局部温度调控加热系统

优异的LED波长匀称性

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