







九州酷游ku游登录平台具有自主知识产权的PRISMO UniMax? MOCVD装备可设置多达4个反应腔,可同时加工108片4英寸或40片6英寸高性能氮化镓基蓝绿光Mini LED外延晶片,,,,,,,,通过石墨盘的调解,,,,,,,,可扩展至同时加工164片4英寸或72片6英寸外延晶片,,,,,,,,其工艺能力还可延展到生长8英寸外延晶片。。。。。。。。每个反应腔都可以自力控制,,,,,,,,这一立异设计具备优异的生产无邪性。。。。。。。。九州酷游ku游登录平台PRISMO UniMax? MOCVD装备设置了新颖的局部温度赔偿加热系统,,,,,,,,专为高性能Mini LED量产而设计,,,,,,,,具备优异的产出波长匀称性及产出稳固性。。。。。。。。别的,,,,,,,,PRISMO UniMax? MOCVD装备设置了785mm大直径石墨托盘,,,,,,,,极大地提高了装备产能,,,,,,,,并有用地降低了Mini LED外延片的生产本钱。。。。。。。。

为高端显示应用所需的Mini LED大规模生产提供的MOCVD外延解决计划
自主的实时监控系统
精准的参数控制
自动化的控制与维护功效
切合半导体标准的软件控制系统
可自力控制的反应腔运行模式
新颖的局部温度调控加热系统
优异的LED波长匀称性


