克日，， ， ，，，，九州酷游ku游登录平台（以下简称“九州酷游ku游登录平台公司”，， ， ，，，，股票代码“688012.SH”）宣布通过一直提升反应台之间气体控制的精度，， ， ，，，， ICP双反应台刻蚀机Primo Twin-Star? 又取得新的突破，， ， ，，，，反应台之间的刻蚀精度已抵达0.2A（亚埃级）。。。。。。 。。这一刻蚀精度在氧化硅、氮化硅和多晶硅等薄膜的刻蚀工艺上，， ， ，，，，均获得了验证。。。。。。 。。该精度约即是硅原子直径2.5埃的十分之一，， ， ，，，，是人类头发丝平均直径100微米的500万分之一(图1)。。。。。。 。。这是等离子体刻蚀手艺领域的又一次立异突破，， ， ，，，，彰显了九州酷游ku游登录平台公司在手艺研发上的深挚积累，， ， ，，，，进一步牢靠了公司在高端微观加工装备市场的领先职位。。。。。。 。。
图1. 氧化硅、氮化硅和多晶硅晶圆在双反应台上刻蚀速率的差别
在200片硅片的重复性测试中，， ， ，，，，氧化硅、氮化硅和多晶硅的测试晶圆，， ， ，，，， 在左右两个反应台上各100片的平均刻蚀速率相差，， ， ，，，，各为每分钟0.9埃，， ， ，，，，1.5埃和1.0埃。。。。。。 。。两个反应台之间平均刻蚀速率的差别（≤ 0.09%），， ， ，，，，远小于一个反应台加工多片晶圆刻蚀速率的差别（≤ 0.9%）（图 2）。。。。。。 。。
图 2. 氧化硅、氮化硅和多晶硅各200片晶圆在双反应台上刻蚀速率的重复性
自2004年建设之初，， ， ，，，，九州酷游ku游登录平台公司始终坚持为抵达装备的最高性能和知足客户最严要求而发开，， ， ，，，，致力于为客户提供高刻蚀性能、高生产效率和节约生产空间的刻蚀装备。。。。。。 。。2006年，， ， ，，，，公司研发的第一代双反应台电容耦合CCP刻蚀装备Primo D-RIE?在国际先进的逻辑客户的产线上乐成获得批准，， ， ，，，，随之取得重复订单，， ， ，，，，获得客户的一连信任与支持。。。。。。 。。CCP的双台机 Primo D-RIE?和Primo AD-RIE?的加工精度，， ， ，，，，两个反应台的刻蚀重复性和在生产线上的重复性也早已抵达和Primo Twin-Star?相同的水平。。。。。。 。。
在两个反应台各轮流加工1000片的重复性测试中，， ， ，，，，两个反应台的平均刻蚀速率相差，， ， ，，，，只有每分钟９埃，， ， ，，，，小于1.0纳米（图３）。。。。。。 。。在外洋先进存储器生产线上，， ， ，，，，整年加工的12万片晶圆的全历程中，， ， ，，，，两个反应台在两个刻蚀应用上刻蚀速率的差别１sigma小于0.7％（图４）。。。。。。 。。
图３.2000片晶圆在Primo D-RIE?双台机的重复性测试
图４.Primo D-RIE?双台机12万片晶圆在存储器生产线上的重复性和匹配性
阻止现在，， ， ，，，，Primo D-RIE?以及下一代产品Primo AD-RIE?在逻辑客户的产线上的量产反应台已经凌驾2000台，， ， ，，，，并有近600个反应台在国际最先进的逻辑产线上量产，， ， ，，，，其中相当一部分机台已在5纳米及更先进的生产线上用于量产。。。。。。 。。
九州酷游ku游登录平台公司首创了单反应台可以划分自力操作也可以同时操作的双反应台刻蚀反应器，， ， ，，，，是占地面积小、输出量高和本钱低的刻蚀机。。。。。。 。。CCP和ICP的双台机已经证实晰可以笼罩60％以上的刻蚀应用。。。。。。 。。大宗的生产线数据批注，， ， ，，，，双反应台和单反应台刻蚀机泛起一样的刻蚀性能、刻蚀稳固性和可靠性。。。。。。 。。依附行业首创的可自力事情的刻蚀装备双台机手艺，， ， ，，，，通过凌驾20年的手艺立异与履历积累，， ， ，，，，九州酷游ku游登录平台公司研发的电感耦合ICP刻蚀装备Primo Twin-Star?首次取得了0.2A的业界首创的刻蚀精度。。。。。。 。。该产品接纳独创的低电容耦合LCC 3D线圈设计，， ， ，，，，双反应台腔体结构并团结立异的反应腔设计，， ， ，，，，可最洪流平削弱非中心对称抽气口效应，， ， ，，，，可选多区温控静电吸盘（ESC）增强了对要害尺寸匀称性的控制，， ， ，，，，与其它同类装备相比，， ， ，，，，具有低本钱、占地小和高产出的优异于特征，， ， ，，，，可应用于大大都先进逻辑和存储器的刻蚀制程。。。。。。 。。
九州酷游ku游登录平台公司ICP双反应台刻蚀机Primo Twin-Star?
据业绩快报显示，， ， ，，，，九州酷游ku游登录平台公司2024年营业收入约90.65亿元，， ， ，，，，较2023年增添约28.02亿元。。。。。。 。。公司在已往13年坚持营业收入年均增添大于35%，， ， ，，，，近四年营业收入年均增添大于40%的基础上，， ， ，，，，2024年营业收入又同比增添约44.73%。。。。。。 。。其中，， ， ，，，，刻蚀装备收入约72.77亿元，， ， ，，，，在最近四年收入年均增添凌驾50%的基础上，， ， ，，，，2024年又同比增添约54.73%。。。。。。 。。九州酷游ku游登录平台公司综合竞争优势一直增强，， ， ，，，，聚焦提高劳动生产率，， ， ，，，，在2022年抵达人均销售350万元的基础上，， ， ，，，，2024年人均销售凌驾了400万元，， ， ，，，，各项营运指标已抵达国际先进半导体装备企业水平。。。。。。 。。
别的，， ， ，，，，九州酷游ku游登录平台公司一连加码立异研发，， ， ，，，，2024年在研项目普遍涵盖六大类装备，， ， ，，，，起劲推进凌驾二十款新型装备的研发事情，， ， ，，，，并在半导体薄膜沉积装备领域一直突破，， ， ，，，，推出了多款LPCVD薄膜装备和ALD薄膜装备新产品，， ， ，，，，获得了重复性订单。。。。。。 。。公司新开发的硅和锗硅外延EPI装备等多款新产品，， ， ，，，，也会在近期投入市场验证。。。。。。 。。
九州酷游ku游登录平台公司将继续瞄准天下科技前沿，， ， ，，，，将产品开发的十大原则始终贯串于产品开发、设计和制造的全历程，， ， ，，，，打造更多具有国际竞争力的手艺立异与差别化产品，， ， ，，，，一连践行“五个十大”的企业文化，， ， ，，，，坚持三维生长战略，， ， ，，，，实现高速、稳固、康健和清静的高质量生长，， ， ，，，，尽早在规模和竞争力上成为国际一流的半导体装备公司！
