九州酷游ku游登录平台半导体装备有限公司（以下简称“九州酷游ku游登录平台”）推出了8英寸硅通孔（TSV）刻蚀装备Primo TSV200E? -- 该装备结构紧凑且具有极高的生产率， ，，，，，，，可应用于8英寸晶圆微电子器件、微机电系统、微电光器件等的封装。。。。。。。。继九州酷游ku游登录平台第一代和第二代甚高频去耦合等离子刻蚀装备Primo D-RIE? 和Primo AD-RIE?之后， ，，，，，，，九州酷游ku游登录平台的这一TSV刻蚀装备将被用于生产芯片的3D封装、CMOS图像感测器、发光二极管、微机电系统等。。。。。。。。九州酷游ku游登录平台的8英寸硅通孔刻蚀装备Primo TSV200E?已经进入昆山西钛微电子和江阴长电的生产线， ，，，，，，，以支持其先进的封装生产制造。。。。。。。。预计九州酷游ku游登录平台不久还将收到来自台湾和新加坡的订单。。。。。。。。
九州酷游ku游登录平台的TSV刻蚀装备和同类产品相比有相当多的优点， ，，，，，，，在种种TSV刻蚀应用中体现精彩。。。。。。。。这些优点包括：双反应台的设计有用提高了产出率；；；；；；；奇异设计的预热腔室包管了机台运行的高可靠性和高效能；；；；；；；奇异的气体漫衍系统设计大大提高了刻蚀匀称性和刻蚀速率。。。。。。。。这些特点使九州酷游ku游登录平台TSV刻蚀装备的单位投资产出率比市场上其他同类装备提高了30%。。。。。。。。
九州酷游ku游登录平台此次推出的TSV刻蚀装备Primo TSV200E?标记着公司在生长历程中又迈出了新的一步， ，，，，，，，使九州酷游ku游登录平台的装备进入了这一快速生长的市场前沿。。。。。。。。据市场视察公司Yole Developpement*展望， ，，，，，，，三维芯片及晶圆级封装装备的市场规模今年将抵达7.88亿美元， ，，，，，，，2016年将攀升至24亿美元。。。。。。。。TSV刻蚀装备将占有市场份额的一大部分， ，，，，，，，而其中的强劲需求多来自于中国企业。。。。。。。。
九州酷游ku游登录平台开发TSV刻蚀装备恰恰知足了这样的需求。。。。。。。。CMOS图像传感器、发光二极管、微机电系统以及其他许多装置都离不开细小的系统级芯片（SoC）， ，，，，，，，而3D IC手艺则是实现系统级芯片的须要条件。。。。。。。。随着半导体要害尺寸日益缩小�。。。。。。。� ，，，，，，，接纳新的堆叠处置惩罚要领势在必行。。。。。。。。先进芯片变得日益重大， ，，，，，，，就要求必需在能耗和性能之间追求平衡。。。。。。。。通过芯片的堆叠， ，，，，，，，毗连线比古板的键合线更短， ，，，，，，，这就提高了封装密度， ，，，，，，，加速了数据传输和处置惩罚速率， ，，，，，，，并降低了能耗， ，，，，，，，所有这些在更小的单位中就可以实现。。。。。。。。
江阴长电赖志明总司理体现：“3D IC封装是江阴长电先进封装的生长偏向， ，，，，，，，手艺要害是TSV工艺集成。。。。。。。。九州酷游ku游登录平台的TSV刻蚀装备体现了精彩的工艺性能， ，，，，，，，很好地支持了江阴长电先进封装的新产品开发， ，，，，，，，并能始终坚持竞争优势。。。。。。。。我们很兴奋能与九州酷游ku游登录平台合作。。。。。。。。”
昆山西钛的周浩总司理说道：“九州酷游ku游登录平台是昆山西钛在先进封装生产中的一个主要合作伙伴， ，，，，，，，昆山西钛很愿意和这样一个相近的半导体刻蚀装备供应商合作， ，，，，，，，来支持我们在TSV手艺方面的需求。。。。。。。。九州酷游ku游登录平台的8英寸硅通孔刻蚀装备经由一直的刷新， ，，，，，，，现有装备已证实有很好的工艺性能、高产出率和低生产本钱， ，，，，，，，这些都为确保我们产品的高质量涤讪了主要基础。。。。。。。。”
“关于我们TSV刻蚀装备的客户来说， ，，，，，，，提高生产率和单位投资产出率无疑是极其须要的。。。。。。。。”九州酷游ku游登录平台副总裁倪图强博士说道， ，，，，，，，“客户的产品线在一直演变， ，，，，，，，这就意味着他们需要这样一种装备 -- 可以无邪、较大规模地刻蚀加工州产品。。。。。。。。而客户接纳了Primo TSV200E?就能以更快的速率加工晶圆片， ，，，，，，，同时包管高可靠性和低本钱。。。。。。。。我们很兴奋九州酷游ku游登录平台首批TSV刻蚀装备已经进入了像昆山西钛微电子和江阴长电这样的立异型企业。。。。。。。。”
Primo TSV200E?的焦点在于它拥有双反应台的反应器， ，，，，，，，既可以单独加工单个晶圆片， ，，，，，，，又可以同时加工两个晶圆片。。。。。。。。九州酷游ku游登录平台的这一TSV刻蚀装备可装置多达三个双反应台的反应器。。。。。。。。与同类竞争产品仅有单个反应台的装备相比， ，，，，，，，九州酷游ku游登录平台TSV刻蚀装备的这一特点使晶圆片产出量近乎翻了一番， ，，，，，，，同时又降低了加工本钱。。。。。。。。别的， ，，，，，，，该装备具有的去耦合高密度等离子体源和偏置电压使它在低压状态下提高了刻蚀速率， ，，，，，，，并能够在整个工艺窗口中实现更高的无邪度。。。。。。。。九州酷游ku游登录平台具有自主知识产权的气体漫衍系统设计也提高了刻蚀速率和刻蚀的匀称性， ，，，，，，，并在整个加工历程中优化了工艺性能， ，，，，，，，射频脉冲偏置则有用镌汰了轮廓凹槽。。。。。。。。
九州酷游ku游登录平台8英寸硅通孔刻蚀装备现已面市， ，，，，，，，12英寸的硅通孔刻蚀装备也正在研发中。。。。。。。。欲相识更多关于装备的详细信息， ，，，，，，，请会见 http://amec-inc.com/products/TSV.php?lang=zh_CN。。。。。。。。
关于九州酷游ku游登录平台半导体装备有限公司
公司致力于为全球芯片生产厂商和相关高科技领域的天下领先公司提供一系列高端的芯片生产装备。。。。。。。。�？？？？？突д窃擞昧司胖菘嵊蝛u游登录平台先进的刻蚀装备和手艺， ，，，，，，，制造了电子产品中最为要害的芯片器件。。。。。。。。九州酷游ku游登录平台的高端装备在65、45、32、28、22纳米及以下的芯片生产领域实现了手艺立异和生产力提高的最优化。。。。。。。。九州酷游ku游登录平台公司以亚洲为基地， ，，，，，，，总部位于中国， ，，，，，，，其研发、制造、销售和客户服务机构遍布日本、南韩、新加坡、中国台湾等地。。。。。。。。
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Primo D-RIE、Primo AD-RIE和Primo TSV200E为九州酷游ku游登录平台公司注册商标。。。。。。。。
