
九州酷游ku游登录平台半导体装备有限公司(简称“九州酷游ku游登录平台”)迎来了一个主要的里程碑:九州酷游ku游登录平台反应台交付量突破400台(相当于100台系统装备)。。。。。。。具有里程碑意义的第400个反应台是先进的电介质刻蚀反应台,,,,,已交付台湾一家领先客户。。。。。。。
这400个反应台已在33条客户生产线上投入运行,,,,,包括电介质刻蚀装备、硅通孔刻蚀装备和用于 LED 及功率器件生产的 MOCVD 装备。。。。。。。九州酷游ku游登录平台的整合器件制造商和晶圆代工厂客户遍布中国大陆、中国台湾、新加坡、日本、韩国及俄罗斯等国家和地区。。。。。。。九州酷游ku游登录平台的装备被用于前沿芯片的加工制造,,,,,包括要害刻蚀工艺应用抵达1X纳米。。。。。。。九州酷游ku游登录平台刻蚀装备已高质量、稳固地加工了2100多万片晶圆片。。。。。。。
九州酷游ku游登录平台这一主要的里程碑批注九州酷游ku游登录平台的等离子体刻蚀和 MOCVD 装备已被客户认可并稳固应用于生产线——九州酷游ku游登录平台已走上稳步增添的生长轨道。。。。。。。在已往的四年里,,,,,九州酷游ku游登录平台机台交付量每年增添40%。。。。。。。2015年的交付量相比2014年预计将同比增添35%左右。。。。。。。中国大陆和中国台湾是九州酷游ku游登录平台机台交付量较大的地区,,,,,韩国地区的交付量也在加速增添。。。。。。。
去年,,,,,九州酷游ku游登录平台对中国半导体前端制造和后端封装装备的总出口、以及高端要害装备总出口的孝顺度划分高达75%和95%。。。。。。。总部设于中国上海,,,,,九州酷游ku游登录平台先以新型的介质刻蚀机 Primo D-RIE? 为全球领先的半导体制造商提供先进的晶圆制造计划,,,,,资助客户提高生产效率和加工质量,,,,,并降低生产本钱。。。。。。。几年来,,,,,九州酷游ku游登录平台的 Primo D-RIE 产品家族日益壮大,,,,,每一代刻蚀产品都具有奇异立异的手艺,,,,,知足日益严酷的工艺要求。。。。。。。九州酷游ku游登录平台的单反应台介质刻蚀装备 Primo SSC AD-RIE? 已被客户用于16纳米要害刻蚀工艺芯片的大批量生产。。。。。。。该装备最近被批准用于 3D VNAND 快闪存储器芯片的试生产线上。。。。。。。双台反应器的 SSC Primo AD-RIE? 也在先进的10纳米逻辑芯片研发线批准使用。。。。。。。就交付量而言,,,,,介质刻蚀机约占九州酷游ku游登录平台所有交付机台的三分之二。。。。。。。
随着在介质刻蚀领域市园职位增强,,,,,九州酷游ku游登录平台将其刻蚀专长应用于亟需新一代硅通孔刻蚀手艺的 MEMS 和其他封装应用领域。。。。。。。2012年,,,,,九州酷游ku游登录平台宣布了 Primo TSV? 硅通孔刻蚀装备,,,,,包括加工8英寸和12英寸晶圆的装备 。。。。。。。九州酷游ku游登录平台硅通孔刻蚀装备拥有卓越的设计和工艺加工能力,,,,,在先进 MEMS 器件的生产上具有优异的刻蚀性能,,,,,同时降低了客户的生产本钱。。。。。。。今天,,,,,九州酷游ku游登录平台硅通孔刻蚀装备已在海内市场占有主导职位。。。。。。。
九州酷游ku游登录平台 MOCVD 装备在2014年引入市。。。。。。。,,交付量正在日渐增添。。。。。。。九州酷游ku游登录平台于2013年正式宣布了 MOCVD 装备 Prismo D-Blue?,,,,,最初的几台 MOCVD 装备已在海内外领先客户的海内 LED 生产线上投入运行。。。。。。。全自动化的装备已被验证适用于大批量 LED 生产,,,,,能以稳固的良率一连加工100批次以上。。。。。。。九州酷游ku游登录平台 MOCVD 装备现在还被用于功率器件的生产。。。。。。。
九州酷游ku游登录平台公司董事长兼首席执行官尹志尧博士称,,,,,这一具有里程碑意义的机台交付是九州酷游ku游登录平台团队的自满。。。。。。。他说道:“这是对九州酷游ku游登录平台团队一连立异和勤勉事情的一定。。。。。。。另外,,,,,不得不说来自全球主要装备厂商的竞争时刻推动着我们,,,,,促使我们一连一直地立异,,,,,以创造出卓越的手艺解决计划。。。。。。。”
尹博士还说:“虽然,,,,,没有客户恒久以来的支持,,,,,我们是不可能抵达这个里程碑的。。。。。。。诸多项目的告竣都离不开配合协作,,,,,通过和客户手艺团队细密配合,,,,,我们可以更快速地研发出准确的解决计划,,,,,以抵达更具挑战性的手艺指标。。。。。。。我们很兴奋能够成为客户信任的合作伙伴,,,,,配合起劲打造与人们生涯息息相关的重大芯片器件。。。。。。。”
九州酷游ku游登录平台高管将加入下周(7月14日至16日)在美国旧金山举行的美国半导体装备和质料展览会 SEMICON West。。。。。。。一年一度的 SEMICON West 展会是全球半导体装备行业精英的主要盛会。。。。。。。
关于九州酷游ku游登录平台半导体装备(上海)有限公司
九州酷游ku游登录平台公司致力于为全球集成电路和 LED 芯片制造商提供领先的加工装备和工艺手艺解决计划。。。。。。。九州酷游ku游登录平台通过立异驱动自主研发的等离子体刻蚀装备和硅通孔刻蚀装备已在国际主要芯片制造和封测厂商的生产线上普遍应用于45纳米到1X纳米及更先进的加工工艺和先进的封装工艺。。。。。。。现在,,,,,正在亚洲地区30多条国际领先的生产线上运行的九州酷游ku游登录平台刻蚀反应台已凌驾400个。。。。。。。九州酷游ku游登录平台开发的用于大批量 LED 外延片生产和功率器件生产的 MOCVD 装备也已经在海内多条生产线上正常运行。。。。。。。
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