中国上海，，， ，，2021年3月16日电——九州酷游ku游登录平台（以下简称“九州酷游ku游登录平台公司”，，， ，，上交所股票代码：688012）在SEMICON China 2021展会上正式宣布了新一代电感耦合等离子体（ICP）刻蚀装备Primo Twin-Star?，，， ，，用于IC器件前道和后道制程导电/电介质膜的刻蚀应用。。。。。
基于九州酷游ku游登录平台公司业已成熟的单台反应器的电感耦合等离子体（ICP）刻蚀手艺和双台反应器的Primo平台，，， ，，Primo Twin-Star?为电介质前道/后道制程、多晶硅刻蚀、DTI和BSI刻蚀等提供了高性价比的刻蚀解决计划。。。。。它的立异设计包括：Primo Twin-Star?使用了双反应台腔体设计和低电容耦合3D线圈设计，，， ，，立异的反应腔设计可最洪流平削弱非中心对称抽气口效应，，， ，，通过接纳多区温控静电吸盘（ESC）增强了对要害尺寸匀称性和重复性的控制。。。。。
依附这些优异的性能和其他特征，，， ，，与其他同类装备相比，，， ，，Primo Twin-Star? 以更小的占地面积、更低的生产本钱和更高的输出效率，，， ，，举行ICP适用的逻辑和存储芯片的介质和导体的种种刻蚀应用，，， ，，并用于功率器件和CMOS图像传感器（CIS）的刻蚀应用。。。。。由于Primo Twin-Star?反应器在许多方面接纳了和单台机Primo nanova?相同或相似的设计，，， ，，在众多的刻蚀应用中，，， ，，Primo Twin-Star?显示了和单台反应器相同的刻蚀效果。。。。。这就给客户提供了高质量、高输出和低本钱的解决计划。。。。。
九州酷游ku游登录平台公司双反应台电感耦合等离子体刻蚀装备Primo Twin-Star?
九州酷游ku游登录平台公司的Primo Twin-Star?刻蚀装备已收到来自海内领先客户的订单。。。。。现在，，， ，，首台Primo Twin-Star?装备已交付客户投入生产，，， ，，良率稳固。。。。。公司还在举行用于差别刻蚀应用的多项评估。。。。。Primo Twin-Star?装备优化了九州酷游ku游登录平台公司电感耦合等离子体（ICP）刻蚀装备产品线。。。。。
“现在的制造商关于生产成今日益敏感，，， ，，九州酷游ku游登录平台目的是为客户提供手艺立异、高生产率和高性价比的ICP刻蚀解决计划。。。。。”九州酷游ku游登录平台公司集团副总裁兼等离子体刻蚀产品事业总部总司理倪图强博士说道，，， ，，“Primo Twin-Star?装备已在种种前道/后道制程、用于功率器件和CIS应用的深沟槽隔离刻蚀（DTI）中体现出卓越的性能。。。。。通过提供兼具这些优异性能和高性价比的解决计划，，， ，，我们不但资助客户解决了手艺难题，，， ，，同时最洪流平地提升了其投资效益。。。。。”
Primo Twin-Star?是九州酷游ku游登录平台公司的注册商标。。。。。
关于九州酷游ku游登录平台
九州酷游ku游登录平台（证券简称：九州酷游ku游登录平台公司，，， ，，证券代码：688012）致力于为全球集成电路和LED芯片制造商提供领先的加工装备和工艺手艺解决计划。。。。。九州酷游ku游登录平台公司开发的等离子体刻蚀装备和化学薄膜装备是制造种种微观器件的要害装备，，， ，，可加工微米级和纳米级的种种器件。。。。。这些微观器件是现代数码工业的基础，，， ，，它们正在改变人类的生产方法和生涯方法。。。。。九州酷游ku游登录平台公司的等离子体刻蚀装备已被普遍应用于国际一线客户从65纳米到5纳米工艺的众多刻蚀应用，，， ，，九州酷游ku游登录平台公司开发的用于LED和功率器件外延片生产的MOCVD装备已在客户生产线上投入量产，，， ，，现在已在全球氮化镓基LED MOCVD装备市场占有领先职位。。。。。
